在度量衡的範疇中，可追蹤性是指一個量測或一系列量測之結果，對國際上或國家所認可的標準之間有一個已知的有效關係，並且在一個量測機構裡已經建立了一個完整紀錄不被打破的參考鏈。

下列 PSI 相關可追蹤性之方法主要是指美國國家標準化主管機關 ---美國國家標準與技術研究院 (NIST) 所授權之方法

1. 校正用度量工具與測量儀器採用 NIST 標準參考物質(SRM)

2. 與NIST相同之測量方法與檢定儀器

3. 使用建立完整、符合科學規律的基本原理與自然不變定律作測量與分析

4. 由實驗室人員提交予NIST進行校正與認證

5. 與產業標準一致地校正測定必然包含嚴守產業標準方法、常規、步驟與規定。像是 ASTM 或 ANSI/NCSL Z540.1 方法

經由精確地應用測試與量測方法，PSI所提供的是方法被定義為”一致地可追蹤性”。這些協定與方法是由專業的團隊、內部實驗室的對照與統計分析發展而來。

新的標準參考物質 (SRM) 最常由此方式發展而來，像是極小的薄膜厚度標準與氮化物標準。

目前，方法1是最熟知的檢定方法，此方法乃是實驗室從 NIST 或是其他國際公認的權威機構獲得 SRM 認證，並使用為儀器校正的基本標準。

經由上述最少四項方法的組合，PSI 的薄膜厚度標準最常被視為可追蹤性的。PSI 採用 NIST SRM 工具來校正與監控內部的度量裝備，度量裝備則輪流運用來量測與建立“次要標準。此外，PSI Standards 獲 NVLAP/NIST 頒授 ISOIEC 170252 認證，成為國際公認的標準校正實驗室。NVLAP 實驗室代碼：200669-0。

Ellipsometry 橢圓偏光術是目前在生產次要標準上，被公認為最可靠與最準確的測量技術，其多種原因如下：

1. 橢圓幾何型方式是 NIST 用以發展薄膜厚度標準參考物質 (SRM) 的技術。研究級的橢圓偏光術輕易安裝，用來複製NIST的精確測量狀態（AOI－或寫作入射角－以及波長），其正確性與精確度都相當高

2. 在光狀態 (Delta and PSI)極化中的變化，測量的結果亦是直接的，並可與 NIST的結果相比擬。

3. 儀器與測量的校正皆是基於符合科學規律的基本原理---光的基礎特性

4. 計算結果所取得的數值是根據NIST所採用的相同數學模式

5. 選擇PSI產生的標準面值，以確保 Delta 以及 Psi 值與 NIST產生的標準參考物質越趨近相同。如此可以確保面值與折射率與 NIST 生產出的多種主要標準相同，或是主要標準的倍數。

6. 用來將被測值轉換成有用、物理數據的這些概念性模式與數學模式，並與NIST明定的標準一致。

PSI 標準所製造出的物理標準是從相同或較佳的物質中產生的，並與NIST產生的標準一樣。在相同或更佳的情況下製造－在從屬的“Class 10”半導體晶圓廠中，初級 P 型<100>矽晶圓上熱成長二氧化矽或低壓化學氣相沉積（LPCVD）氮化矽。

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