계측학의 관점에서 볼 때, "Traceability" 는 단일 혹은 연속의 계측 결과가 내부적으로 공인된 표준과 알려진, 유효한, 인증된 관계를 갖고 있으며, 특정 계측 조직에 의해 처음부터 끝까지 문서화되고 연결된 레퍼런스를 갖고 있어야 함을 의미한다.

다음 방법과 절차는 PSI Traceability, 주로 미국의 국가 표준 기관인 NIST 와 연관이 있다.

1. 계측 도구와 측정 장비의 보정, NIST Standard Reference Material (SRM) 사용

2. NIST 방법 및 동일 장비를 사용한 측정 및 인증.

3. 이미 널리 알려진 과학적인 제1원리와 자연불변의 법칙을 사용한 계측과 분석.

4. 연구실에서 사용한 보정 및 인증 물질을 NIST 에 제출.

5. 산업 표준에 의거한 보정, 즉 ASTM or ANSI/NCSL Z540.1과 같은 산업 표준 방법론, 실행, 절차 및 정의에 대한 철저한 준수를 의미.

이 방법론은 실험과 측정 방법론의 철저한 적용을 통해 "consensus traceability" 라고 정의된다. 이 프로토콜과 방법론은 전문가 그룹에 의해 개발되었으며, 연구실간 상호 비교와 통계 분석에 위임된다.

매우 자주, 초박막 두께 표준과 질화물 표준과 같은 새로운 SRM 이 이런 방식으로 개발된다.

현재까지 가장 널리 인정받은 것은 방법론 1이며, 연구소가 NIST 나 다른 국제적으로 명성이 있는 기관으로부터 SRM 을 받아서 기기 보정의 주요 표준으로 사용한다.

PSI 필름 두께 표준은 위에 열거된 방법론 중 최소 4개 이상의 조합을 통해 가장 traceable 가능하다. PSI 는 NIST 의 SRM 소재를 사용하여 내부 계측 장비의 보정과 모니터링을 하고 있으며, 또한 역으로 "2차 표준"을 측정하고 설계하는데 사용한다. PSI Standards는 또한 NVLAP/NIST 의 ISO/IEC 17025 인증을 획득하였으며 국가적으로 인정받은 보정 연구소이다. 연구소 코드는 200669-0 이다.

Ellipsometry 는 제2차 표준을 제작하기 위한 가장 신뢰성있고 정확한 계측 기술이며 그 이유는 다음과 같다.

1. Ellipsometry 는 필름 두께 SRM 을 생성, 개발하기 위해 NIST가 사용하는 기술이다. 연구소급의 ellipsometer 는 NIST 의 정확한 측정 환경(투사각과 파장)을 재현할 수 있도록 쉽게 설정이 가능하며, 비교할만한 정확성과 정밀성을 자랑한다.

2. State-of-light (Delta 와 Psi) 편광의 변화에 대한 측정이 일관적이고, NIST 의 것과 직접 비교가 가능하다.

3. 기기와 측정의 보정이 과학 제1원칙에 기반한다 - 빛의 기본적 속성.

4. 도출된 값의 계산이 NIST가 사용하는 것과 동일한 수학적 모델에 기반한다.

5. PSI 에 의해 제작된 표준의 명시적 값이 NIST 가 제작한 SRM 의 Delta 와 Psi 값과 거의 동일하다. 이는 곧 명시적 두께와 지표 값이 NIST 에서 발행된 주요 표준과 동일하다는 것을 의미한다.

6. 측정된 값을 유용한 물리적 데이터로 변환하는 개념과 수학적 모델이 NIST에서 규정한 것과 동일하다.

Prime 급 P 타잎 <100> 실리콘 웨이퍼 기반의 thermally grown Silicon Dioxide 또는 LPCVD Silicon Nitride 와 같은, NIST에서 생산되는 것과 동일하거나 더 뛰어난 소재로부터 만들어진 PSI Standards 의 물리적 표준들은 "Class 10" 급 반도체 연구실에서 제작된다.

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