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Dual MTS Standards
 
 

새로운 단차 보정법
Process Specialties 는 반도체, FPD 그리고 나노기술 산업에 대한 새로운 단차 표준을 제공합니다. 이 새로운 2 중 단차 표준들은 모든 단차 측정장비에 대한 보정, 모니터링 및 표준화를 위한 넓은 범위의 두께에서 제공됩니다.

새로운 2 중 두께 기술
PSI 의 새로운 2 중 단차 디자인은 각 표준에 대해 단차가 보정된 2개의 NIST추적성에 대한 장점을 제공합니다. 이는 추가적인 표준을 로딩하거나 셋업할 필요 없이 특정한 두께 범위에서 장비의 직선성을 확립합니다.

보다 나은 표준 선택
PSI 의 2중 두께 기술은 다른 단일의 일반 표준들 보다 앞서 있으며, 더욱 실용적이며 저가격인 대안입니다. 새로운 2 중 표준들은 기계적 측정기에 대한 정밀한 SiO2 와 광학기기 및 AFM 장비를 위한 크롬이 코팅된 SiO2 에 이용가능 합니다.

진단 기능
2 중 두께 디자인은 탐침 손상 여부, 정렬 및 배율에 대한 유용한 진단기능을 일체화 하였습니다. 또한 새로운 표준들은 자동 로딩을 위한 패턴 인식 정렬 마크를 가지고 있습니다.

    Oxide Step Height Standards:
150 MM Part Numbers 200 MM Part Numbers 300 MM Part Numbers**
SHO6-00070-00170 SHO8-00070-00170 SHO12-00070-00170
SHO6-00450-00900 SHO8-00450-00900 SHO12-00450-00900
SHO6-01800-03800 SHO8-01800-03800 SHO12-01800-03800
SHO6-04700-09500 SHO8-04700-09500 SHO12-04700-09500
 ** By special order only -extended delivery
 
 
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