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Process Specialties 는 박막업계에 유일한 NIST 추적성을 가진 금속 박막 표준을 제공합니다. 최첨단으로 광범위하게 사용되는 금속 두께 측정 장비의 교정과 모니터링 용으로 개발되었습니다.
PSI 는 하나의 표준에서 장비 보정을 위한 2 개의 다른 금속 두께 영역을 개발하였습니다. 이는 사용자가 추가로 표준을 로딩하거나 셋업 할 필요 없이 특정한 두께 범위에서 장비의 직선성을 확립할 수 있게 하였습니다.
Process Specialties 가 최초로 NIST추적성을 가진 금속 보정 표준을 공급합니다. 이러한 새로운 표준들은 구리, 탄탈륨, 티타늄 그리고 알루미늄을 포함한 근래 진보된 금속화 공정들에서 가장 널리 쓰이는 금속들을 대표하고 있습니다.
진보되고 독보적인 진단기능은 사용자가 장비의 적당한 Spot size 를 결정하는 것과 전기적 spot 과 실제 빔의 위치에 대한 확인하는 것 및 stage 의 높이와 재현 성을 관찰하는 것을 가능하게 합니다. 웨이퍼상의 패턴 인식 기능은 표준의 자동 로딩을 가능하게 합니다.
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