再校正

プロセススペシャリティーズ社（PSI社）は、標準サンプルの再校正を推奨いたします。ISO9000 により指示される個々内部項目が変わるかもしれませんが、校正のタイミングとしては年に1回を推奨いたします。各標準サンプルの校正日は、”Certificate of Calibration(校正証明書)”に記載されています。

PSI社は、標準サンプルの膜厚値が汚染等により変化したように見えた時も、再校正を推奨します。

再校正プロセスは、予備検査や測定を含んでいます。もし、校正エリアに物理的ダメージがなかった場合、標準サンプルは、化学的、メカニカル的にクリーンにされます。再校正は、完成した校正手順で実施されます。再校正されたサンプルは、NISTトレーサブルであり、新たに校正証明書が発行されます。

PSI社製ではない標準サンプルの再校正

お客様からの強い要望により、2008年5月1日からPSI社は、PSI社製ではない標準サンプルの再校正を開始しました。扱う標準サンプルは、径100mm～300mmのシリコン基板である膜厚標準サンプル（膜種；酸化膜、窒化膜）と段差標準サンプルです。膜厚は、PSI社がNVLAP/NISTによる証明を公認された膜厚範囲内で再校正いたします（PSI社のNVLAP ここを御参照）。

再校正をご希望される場合、プロセススペシャリティーズ社や代理店へコンタクトしていただき、価格を御確認後、サンプルを本社（米、カリフォルニア）或いは各国代理店へ送付していただけますようお願いします。再校正期間は本社到着後約2週間です。

PSI 標準は NVLAP/NIST 認定のISO/IEC 17025:2005、NVLAP ラボ コード番号 200699-0 です。