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プロセススペシャリティーズは新たに半導体、FPD、ナノテクノロジーの分野に向けて、段差スタンダードの販売を開始いたします。この新しいデュアル段差スタンダードはワイドレンジでの膜厚において、段差計の校正、モニターなどが可能になります。
新商品であるデュアル段差スタンダードの大きな特徴は、NIST のトレーサビリティーを確保した、２種類の異なる膜厚ステップが一枚のスタンダード（ウエハ）に構成されていることです。この異なる膜厚ステップを利用する事で、一枚のスタンダードで計測器の膜厚リニアリティーをワイドレンジで校正できます―例えば２枚のスタンダードを使用していた場合、1枚で校正が可能になります。
PSI の２種類の膜厚が構成されているデュアルタイプは従来のシングルタイプや簡易タイプ置き換わるスタンダードであり、従来と比べると非常に実用的で価格が割安になります。新製品であるこのデュアルスタンダードは、段差計には SiO2、光学機器やAFM用には SiO2 にクロムをコートした材料があります。
デュアル膜厚タイプは針の損傷、アライメント、倍率に対する診断機能も有しています。また、この新しいスタンダードをオートローディングすることでパターン認識用アライメントマークを行えます。
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