独自の診断機能
独自の診断機能により、ユーザーは使用に適したスポットサイズ、エレクトロニック・スポットに対する実際のビーム位置、モニタステージ高さ、再現性を確認することができます。また、スタンダードのオートローディングによりウエハー上のパターン認識の確認をすることができます。