在测量体系中，“可追踪检索”意味着每次测量－或者一系列测量－的所有结果都是按照国际公认的标准进行公布、核实和认证的 ，并且都有详细的文件和参考标准等信息，具有特定的测量权威性。

以下方法保证 PSI 标准产品具有可追踪检索性－主要针对美国国家标准化权威机构－国家标准及技术学会（NIST）而制定。

1. 采用 NIST 标准参考材料（SRM）进行测量仪器和测量工具的校准。

2. 采用 NIST 指定的方法和同样的仪器进行测量和校准。

3. 采用已经建立完善的科学基本原理和自然常数进行测量和分析。

4. 向 NIST 提供样品，在他们的实验室进行校准和认证。

5. 校准必须符合工业标准。严格按照工业标准方法、经验、步骤和定义例如 ASTM 或 ANSI/NCSL Z540.1 方法进行校准。

通过以上测试和测量方法的严格应用，我们的校准方法和结果具有公认的可追踪检索性。这些协议和方法由专家组开发，并经过实验室之间的比较和统计分析后形成。

大部分情况下，新的 SRM 都是按照上述方法开发得到的，比如超薄薄膜标准和氮化硅标准。

到目前为止，众所周之的方法是方法1。实验室使用 NIST 或其他国际公认权威机构提供的 SRM 作为主要标准进行仪器的校准。

PSI 薄膜厚度标准至少采用了四种上述方法的组合，其结果具有很好的追踪检索能力。PSI 采用 NIST 提供的 SRM 材料对内部的测量仪器进行了校准和监测。反过来，这些经过校准的仪器被用于测量和建立“第二级标准”。此外，PSI 标准产品通过了NVLAP/NIST 颁发的 ISO/IEC 17025 认证，是国家认可的校准实验室。实验室代码：200669-0。

Ellipsometry 在制作第二级标准时，基于各种原因，椭圆偏振法是目前最可靠和最精确的测量技术。

1. 我们采用 NIST 使用的技术制作和开发了薄膜厚度标准参考材料（SRM）。研究级椭圆偏振计很容易重复 NIST 的测量条件（AOI－入射角度和波长），精准度和精确度基本相当。

2. 偏振状态（Delta 和 Psi）的改变直接影响到测量结果，与NIST的结果完全一致。

3. 测量仪器的校准建立在科学基本原理—光学基本特性的基础上。

4. 测量结果的计算和推导建立在 NIST 使用的数学模型基础上。

5. 保证 PSI 制造标准的 Delta 和 Psi 值与NIST标准参考材料（SRM）基本相同。这样可以确保其标称厚度和其它指标与 NIST 标准相同。

6. 将测量数据转换为实用物理数据的概念和数学模型与 NIST 要求保持一致。

PSI 标准产品采用与 NIST 产品（在 Class 10 以下的半导体厂，以一级 P 型 <100> 硅片为原料制备得到的热生长二氧化硅或 LPCVD 氮化硅）相同或更好的原材料，在相同或更好的条件下制作而成。

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