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Dual MTS Standards
 
 

PSI 的最新标准
我们的制程专家导入业界唯一符合〝可追溯 NIST 的金属标准〞的产品线,以专供所有最先进与广泛使用的金属度量机台之校准及监测。

双厚度技术革命
PSI 已经发展出单一标准片上提供两种金属厚度给量测机台校正。如此可让使用者在一定厚度范围内建立线性校正曲线,而无须再加载或建立额外标准。

前瞻性制程设计
PSI 是第一家提供可追溯 NIST 的金属校正标准片公司。这些新的标准片,在先进的金属化制程中,包括铜、钽、钛、铝等扮演重要的角色。

独家的机台测试工具
先进且独创的测试工具允许使用者确认机台的量测光点大小、光束直径大小、验证实际的光束位置与电子束点对应关系,并监控平台高度是否正确及其重现性。在标准片上并提供标准片自动加载机台时的图形辨识功能。因此标准片的对准图案,可以让机台自动加载标准片。

150 MM Part Numbers 200 MM Part Numbers 300 MM Part Numbers
MAl6-01000-03800 MAl8-01000-03800 MAl12-01000-03800
MAl6-04700-10000 MAl8-04700-10000 MAl12-04700-10000
MCu6-00100-00450 MCu8-00100-00450 MCu12-00100-00450
MTi6-00100-00900 MTi8-00100-00900 MTi12-00100-00900
MTa6-00100-00450 MTa8-00100-00450 MTa12-00100-00450
MW6-00400-02000 MW8-00400-02000 MW12-00400-02000
 
 
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