PSI 已经发展出单一标准片上提供两种金属厚度给量测机台校正。如此可让使用者在一定厚度范围内建立线性校正曲线,而无须再加载或建立额外标准。
PSI 是第一家提供可追溯 NIST 的金属校正标准片公司。这些新的标准片,在先进的金属化制程中,包括铜、钽、钛、铝等扮演重要的角色。
先进且独创的测试工具允许使用者确认机台的量测光点大小、光束直径大小、验证实际的光束位置与电子束点对应关系,并监控平台高度是否正确及其重现性。在标准片上并提供标准片自动加载机台时的图形辨识功能。因此标准片的对准图案,可以让机台自动加载标准片。